Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников

Abstract

Предложена модель информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов, содержащая подсистему мониторинга температурных полей, многокомпонентную математическую модель процесса выращивания, подсистему поддержки принятия оперативных решений по коррекции режима выращивания, подсистему оптимизации параметров теплового экрана ростовой установки.